Властивості тонких плівок оксиду цинку, одержаних електрохімічним методом
Анотація
Досліджено процеси низькотемпературного формування тонких плівок ZnO електрохімічним методом на провідних оксидних поверхнях довільної форми в залежності від концентрації нітрату цинку, температури, густини струму. Вивчено структуру, морфологію, фазовий і елементний склад, а також фізичні характеристики плівок.
Посилання
Бучаченко А.Л. Нанохимия – прямой путь к высоким технологиям нового века // Усп. химии. – 2003. – Т. 72, № 5. – С.419 – 437.
Мильвидский М.Г., Уфимцев В.Б. Полупроводниковые материалы в современном этапе развития твердотельной электроники // Неорган. матер. – 2000. – Т. 36, № 3. – С.360‑368.
Жуков С.П., Киндяк В.В., Демченко А.И. Получение и свойства высокоориентирован-ных пьезоэлектрических пленок оксида цинка на подложках из плавленого кварца // Неорган. матер. – 1994. – Т. 30, № 5. – С.710 – 712.
Кузьмина И.П., Никитенко В.А. Оксид цинка. Получение и оптические свойства. – М.: Наука, 1984. – 168 с.
Schuler T., Aegerter M.A. Optical, electrical and structural properties of sol-gel ZnO-Al coatings // Thin Solid Films. – 1999. – V. 351, N 1-2. – Р.125-131.
Takai O., Futsuhara M., Shimizu G., Lungu C.P., Nozue J. Nanostructure of ZnO thin-films prepared by reactive RF magnetron sputterin. // Thin Solid Films. – 1998. – V. 318, N 1-2. – Р.117-119.
Liu Y., Gorla C.R., Liang S., Emanetoglu N., Lu Y., Shen H., Wraback M. Ultraviolet detectors based on epitaxial ZnO films grown by MOCVD // J. Electronic Mater. – 2000. – V. 29, N 1. – P.69-74.
