Розсіяння світла на шорсткій поверхні кварцу з профілем у вигляді трикутних виступів, які періодично повторюються
Анотація
Описана чисельна процедура отримання параметрів еванесцентного поля в ближній зоні нанонеоднорідностей шорсткої поверхні кварцу. Використано кінцево-елементний підхід для розв’язку двовимірного векторного рівняння Гельмгольця. Профіль межі розділу «кварц – вакуум» вибраний у формі трикутників, які періодично повторюються. Показано, що при освітленні даної поверхні з боку кварцу, при умові повного внутрішнього відбиття світла, коли висота виступів () незначна ( £ 1 нм): (а) контрастність напруженості еванесцентного поля вздовж поверхні кварцу та коефіцієнт відбиття практично не залежать від довжини падаючої хвилі і параметру відповідно; (б) при збільшенні довжини кореляції шорсткої поверхні кварцу контрастність зменшується; (в) розподіл амплітуди напруженості еванесцентного поля вздовж вказаної поверхні розділу, в цілому, відтворює форму шорсткої поверхні.
Посилання
1. Ali I., Roy S.R., Shinn G. Chemical-mechanical polishing of interlayer dielectric: a review. Solid State Technology. 1994. 37(10): 63.
2. Ivanovsky G.F., Petrov V.I. Ionno-plazmennaya obrabotka materialov. (Moscow: Radio i svyaz', 1986). [in Russian].
3. Patent Japan JP2014-022411A. Genichi O., Takashi Y., Ko N. Etching method using near-field light. 2014.
5. Nomura W., Yatsui T., Ohtsu M. Nonadiabatic Near-Field Optical Polishing and Energy Transfers in Spherical Quantum Dots. In: Progress in Nano–Electro–Optics VII. (Berlin: Springer-Verlag, 2010). https://doi.org/10.1007/978-3-642-03951-5_4
7. Volakis J.L., Cbatterjee A., Kempel L.C. Finite Element Method for Electromagnetics. (IEEE Press, 1998). https://doi.org/10.1109/9780470544655
8. Johnson P.W., Christy R.W. Optical constants of the noble metals. Phys. Rev. B. 1972. 6(12): 4370. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.6.4370
9. Jin J. The Finite Element Method in Electromagnetics. Second Edition. (New York: Wiley, 2002).
10. Chew W.C., Weedon W.C. A 3D perfectly matched medium from modified Maxwell's equations with stretched coordinates. Microwave Opt. Technol. Lett. 1994. 7(13): 599. https://doi.org/10.1002/mop.4650071304
11. Sacks Z.S., Kingsland D.M., Lee R., Lee J.F. A perfectly matched anisotropic absorber for use as an absorbing boundary condition. IEEE Trans. Antennas Propag. 1995. 43(12): 1460. https://doi.org/10.1109/8.477075
12. Raether H. Surface Plasmons on Smooth and Rough Surfaces and on Gratings. (Springer-Verlag, 1988). https://doi.org/10.1007/BFb0048317
13. Sergienko A.B. Tsifrovaya obrabotka signalov. (Moscow: Piter, 2003). [in Russian].
14. Novotny L., Hecht B. Osnovy nanooptiki. (Moscow: FIZMATLIT, 2009). [in Russian].
15. Quinten M. Optical Properties of Nanoparticle Systems: Mie and Beyond. (Willey, VCH Verlag&Co. KGaA, Weinhein, 2011).
16. Agranovich V.M., Mills D.L. Surface Polaritons: Electromagnetic Waves at Surface and Interfaces. (Amsterdam, New York, North-Holland, 1982).
- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи.
