@article{Filonenko_Lobanov_2019, title={Нестехіометричний оксид кремнію SiOx (x < 2)}, url={http://surfacezbir.com.ua/index.php/surface/article/view/659}, DOI={10.15407/Surface.2018.10.118}, abstractNote={<p>Огляд присвячено аналізу експериментально і теоретично отриманих даних щодо методів синтезу, структури та властивостей нестехіометричного оксиду кремнію SiO<sub>x</sub> (x&lt;2) в широкому діапазоні вмісту кисню. Описано основні області застосування субоксиду кремнію в мікро- та оптоелектроніці, зокрема, при виготовленні сонячних елементів. Розглянуто переваги та недоліки основних теоретичних моделей, що використовуються при дослідженні властивостей SiO<sub>x</sub> матеріалів – моделі випадкових зв’язків і моделі випадкових сумішей. Показано, що жодна з цих моделей не дозволяє відтворити положення лінії Si2p-остовного рівня зразків SiO<sub>x</sub> при різних значеннях x в експериментально отриманому фотоелектронному спектрі. Описана також так звана проміжна модель, результат застосування якої дає наочну двовимірну картину елементного складу поверхні та залежність положень дна зони провідності і верхнього рівня валентної зони зразків SiO<sub>x</sub>. Отримано і проаналізовано ІЧ-спектри різних зразків SiO<sub>x</sub>, що дозволило використовувати коливальну спектроскопію для встановлення їхніх структурних особливостей і визначення концентрації кисню в них. Проаналізовано енергетичні ефекти реакцій диспропорціонування Si<sup>2+</sup>&nbsp;+&nbsp;Si<sup>2+</sup>&nbsp; →&nbsp;Si<sup>+</sup>&nbsp;+&nbsp;Si<sup>3+</sup> та Si<sup>+&nbsp;</sup>–&nbsp;Si<sup>3+</sup>&nbsp; →&nbsp;Si<sup>0&nbsp;</sup>–&nbsp;Si<sup>4+</sup>, в межах яких з’являється можливість пояснити механізм утворення нанокластерів кремнію в об’ємній фазі SiO<sub>x</sub>. Результати розрахунків методом теорії функціоналу густини показали, що тетраедричне оточення атома Силіцю&nbsp; атомами Si стає можливим лише при наявності понад 5 цих атомів в кластері.</p&gt;}, number={10(25)}, journal={Поверхня}, author={Filonenko, O. V. and Lobanov, V. V.}, year={2019}, month={Січ}, pages={118-136} }