Gaishun, V. E., Kosenok, Y. A., Tyulenkova, O. I., Turov, V. V. і Gun’ko, V. M. (2008) «Usage of suspensions based on fumed silica for mechano-chemical polishing of single-crystalline silicon», Поверхня, 0(14), с. 423-428. доступний у: http://surfacezbir.com.ua/index.php/surface/article/view/300 (дата звернення: 15Травень2024).