Gaishun, V. E., Y. A. Kosenok, O. I. Tyulenkova, V. V. Turov, і V. M. Gun’ko. «Usage of Suspensions Based on Fumed Silica for Mechano-Chemical Polishing of Single-Crystalline Silicon». Поверхня0, no. 14 (Липень 30, 2008): 423-428. дата звернення Травень 16, 2024. http://surfacezbir.com.ua/index.php/surface/article/view/300.