Gaishun VE, Kosenok YA, Tyulenkova OI, Turov VV, Gun’ko VM. Usage of suspensions based on fumed silica for mechano-chemical polishing of single-crystalline silicon. Поверхня [інтернет]. 30, Липень 2008 [цит. за 15, Травень 2024];0(14):423-8. доступний у: http://surfacezbir.com.ua/index.php/surface/article/view/300