GAVRYLYUK, O. O.; SEMCHUK, O. Yu. Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx. Поверхня, [S. l.], n. 5(20), p. 69–82, 2013. Disponível em: https://surfacezbir.com.ua/index.php/surface/article/view/506. Acesso em: 23 вер. 2026.