Gavrylyuk OO, Semchuk OY. Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx. Поверхня [інтернет]. 06, Вересень 2013 [цит. за 06, Травень 2024];0(5(20):69-2. доступний у: https://surfacezbir.com.ua/index.php/surface/article/view/506