Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала
Анотація
Досліджено структуру поруватого кремнію методами скануючої електронної мікроскопії (СЕМ) та атомної силової мікроскопії (АСМ) в залежності від режимів електрохімічного процесу розчинення монокристалічного кремнію р-типу. Встановлено, що при анодному розчиненні можливе утворення двохшарової нанопоруватої полімерної плівки кремнію, мікропоруватого шару з включеннями аморфного кремнію або полірованої поверхні кремнію.
Посилання
Свечников С.В., Саченко А.В., Сукач Г.А., Евстигнеев А.М., Каганович Э.Б. Светоизлучающие слои пористого кремния: получение, свойства и пременение // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 1994. - Вып. 27. - С.3-29.
Polishuk V., Souteyrand E., Martin J.R., Stricha V.I., Skyshevsky V.A. A study of hydrogen detection with palladium modified porous silicon // Anal. Сhim. Аcta. – 1998. –V. 375. – P.205-210.
Beckmann K.N. Investigation of the chemical properties of stain films on silicon by means of infrared spectroscopy // Surface Sci. - 1965. – N 3. - P.314-332.
Горячев Д.Н., Беляков Л.В., Сресели О.М. О механизме образования пористого кремния // Физ. и техн. полупроводников. – 2000. – Т. 34. – С.1130–1134.
- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи.
