Formation of the ZnxCd1-xTe solid solution single crystal polished surfaces with the HNO3–HBr–ethylene glycol etchants
Анотація
Chemical etching of the ZnхCd1-хTe solid solution single-crystals surfaces in the bromine emerging etchants based on HNO3–HBr–С3Н6О3 system has been studied. Crystal etching rate dependences has been studied on etchant composition, disc rotation speed and temperature as well as surface status after chemical polishing using metallography and profilography. The etchant optimum compositions have been found for the chemical-dynamic polishing of
ZnхCd1-хTe solid solutions.
Посилання
New compositions for chemical polishing of CdZnTe crystals / O.S. Galkina, N.N. Grebenyuk, M.V. Dobrotvorskaya, V.K. Komar, D.P. Nalivaiko, O.N. Chugai // Functional Materials. – 2002. – V. 9, № 3. – P. 463 – 466.
Влияние обработки гидростатическим давлением на свойства датчиков ядерного излучения на основе полупроводникового соединения CdZnTe / В.Е. Кутний, Д.В. Кутний, А.В. Рыбка, Д.В. Наконечный, М.А. Тихоновский, А.В.Бабун, Г.Г. Бобылев // Вопросы атомной науки и техники. – 2003. – № 13. – С. 111 – 116.
Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии: Автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.17.01 / Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности ФГУП «Гиредмет». – Москва, 2007. – 24 с.
Характер химического взаимодействия монокристаллов CdTe и твердых растворов ZnхCd1-хTe с водными растворами Н2О2-НВr-лимонная кислота / З.Ф. Томашик, И.И. Гнатив, В.Н. Томашик, И.Б. Стратийчук // Журн. неорган. химии. – 2007. – Т. 52, №7. – C. 1234 – 238.
Новик Ф.С., Минц Р.С., Малков Ю.С. Применение метода симплексных решеток для построения диаграмм состав-свойство // Заводская лаборатория. – 1967. – Т. 29, № 7. – С. 840 – 847.
Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников / Б.Д. Луфт, В.А. Перевощиков, Л.Н. Возмилова, И.А. Свердлин, К.Г. Марин. – М.: Радио и связь, 1982. – 136 с.
Перевощиков В.А.. Процессы химико-динамического полирования поверхности полупроводников // Высокочистые вещества. – 1995. – № 2. – C. 5 – 29.
